Автоматизированная установка для выращивания монокристаллов способом Чохральского (Ника-3)
НИКА-3 разработана с учетом опыта эксплуатации оборудования предыдущего поколения, рекомендаций наших заказчиков, естественного прогресса технических характеристик комплектующих устройств и программного обеспечения.
|
|
до 2100О С
|
![]() |
|
до 150 мм (в зависимости от типа выращиваемого кристалла) |
|
|
до 4 кг; 8 кг
|
|
|
до 5 кг; 10кг
|
|
|
не менее 0,02 г; 0,04 г
|
|
|
550 мм
|
|
|
|
|
рабочая
|
от 0,1 до 120,0 мм/ч
|
|
ускоренная
|
от 0,5 до 150,0 мм/мин
|
|
|
1-100 об/мин
|
|
|
200 мм
|
|
|
транзисторный (IGBT технология)
|
|
|
40 кВт; 100 кВт
|
|
|
от 1 до 100 % от используемой
|
|
|
не ниже 93%
|
|
|
± 0,05%
|
|
|
не более 1,5х105Па
|
|
|
не более 2,6 Па
|
|
|
не более 3 кВт
|
|
|
от 200 кПа до 250 кПа
|
Система автоматического управления

Адаптивная (самонастраивающаяся) система автоматического управления диаметром кристалла обеспечивает необходимое качество управления и устойчивость на протяжении всего процесса роста. Существенным преимуществом САУ является наличие нескольких классов автоматических регуляторов, таких как самонастраивающийся PID – регулятор, инкрементальный регулятор, самонастраивающийся предиктор-корректор, который, как показала практика, обеспечивает наилучшее качество управления размером кристалла (диаметром слитка). Мы учитываем особенности процесса заказчика и проводим автоматизацию специальных технологических приемов и процедур.
Мы учитываем особенности процесса заказчика и проводим автоматизацию специальных технологических приемов и процедур.
ФГУП ЭЗАН разрабатывает и внедряет системы автоматизации верхнего уровня, предназначенные для управления производством цеха выращивания монокристаллов. Система осуществляет автоматический сбор и обработку технологических параметров, результатов анализа качества монокристаллов, проводит автоматическую корреляцию, определяет совокупность оптимальных технологических параметров для текущего процесса, проводит их загрузку в компьютер управления установкой.
