Главная - Продукция - Оборудование роста кристаллов - Автоматизированная установка для выращивания профилированных монокристаллов сапфира (Ника-ПРОФИЛЬ)

Автоматизированная установка для выращивания профилированных монокристаллов сапфира (Ника-ПРОФИЛЬ)



Установка НИКА-ПРОФИЛЬ предназначена для промышленного производства монокристаллов профилированного сапфира. Установка создана на базе современной механики и электроники, распределенных систем сбора и обработки данных, программного обеспечения управления процессом кристаллизации с возможностью адаптивного управления. Индукционный нагрев осуществляется с помощью высокостабильного транзисторного генератора мощностью до 100 кВт. Установка позволяет выращивать кристаллы массой до 7 кг, шириной до 250 мм и длиной до 850 мм из тиглей диаметром до 220 мм. Установка может комплектоваться прецизионной системой резистивного нагрева номинальной мощностью 120 кВт. Система автоматического управления процессом роста обеспечивает возможность сквозной автоматизации процесса с автоматическим затравливанием. Программный модуль сбора-обработки технологических данных и данных после ростового анализа структуры кристалла позволяет эффективно оптимизировать технологический процесс.


Адаптивная САУ

Адаптивная (самонастраивающаяся) система автоматического управления диаметром кристалла обеспечивает необходимое качество управления и устойчивость на протяжении всего процесса роста. Существенным преимуществом САУ является наличие нескольких классов автоматических регуляторов, таких как самонастраивающийся PID – регулятор, инкрементальный регулятор, самонастраивающийся предиктор-корректор, который как показала практика, обеспечивает наилучшее качество управления размером кристалла (диаметром слитка). Мы учитываем особенности процесса заказчика и проводим автоматизацию специальных технологических приемов и процедур.








Технические характеристики установки:

  • Температура плавления 
  • до 2200О С   
  • Диаметр тигля для расплава 
  • 250 мм  
  • Масса кристалла 
  • до 5 кг; 10 кг 
  • Диапазон датчика веса 
  • до 5 кг; 10 кг 
  • Чувствительность датчика 
  • не менее 0,02 г; 0,04 г  
  • Скорость перемещения верхнего штока 
  •  
    рабочая от 6 до 120,0 мм/ч  
    ускоренная от 0,5 до 150,0 мм/мин  
  • Тип преобразователя 
  • транзисторный (IGBT) 
  • Выходная мощность преобразователя 
  • 100 кВт  
  • Частота 
  • 5-20 кГц  
  • Диапазон вых. мощности 
  • от 1 до 100 %  
  • КПД 
  • не ниже 93%   
  • Допустимое отклонение выходной мощности 
  • ± 0,05%  
  • Давление инертного газа в камере  
  • не более 1,5х105Па  
  • Предельный форвакуум 
  • не более 2,6 Па  
  • Давление охл. воды 
  • от 200 кПа до 250 кПа  

     


     Краткое описание установки.pdf    Описание программного обеспечния.pdf