Главная - Продукция - Научно-производственное оборудование - Оборудование для осаждения и травления тонких пленок

Оборудование для осаждения и травления тонких пленок

 

ФГУП ЭЗАН совместно с Институтом проблем технологии микроэлектроники Российской академии наук разработал и изготовил серию установок для плазмохимического травления и осаждения тонких пленок с применением высокочастотной плазмы в условиях электронного циклотронного резонанса  (ЭЦР). Данное оборудование обладает рядом преимуществ в современной микроэлектронике, и используется для проведения как стандартных технологических процессов, так и для решения новых научных и технологических задач.