Главная - Продукция - Элементы вакуумных систем

Элементы вакуумных систем

Соединения ConFlat.

 

Вакуум–плотные разъемные соединения используются для быстрого и легкого сочленения отдельных устройств и узлов, а также обеспечивают доступ к тем или иным элементам системы. В условиях сверхвысокого вакуума применяют главным образом фланцевые соединения, изготовленные из нержавеющей стали.

 
 
Предлагаются к применению прогреваемые до 450°С фланцевые соединения, используемые в сверхвысоковакуумных системах в диапазоне давлений 1 х 105 - 1 х 10-8 Па, с условными проходами Dу от 16 до 250 мм типа ConFlat. Фланцевые соединения этого типа конструктивно состоят из двух одинаковых фланцев, снабженных внешним бортиком для фиксации медной шайбовидной прокладки  и заостренным выступом особой формы.
 
Возможно использование конструкции, в которой фитинги с заостренными выступами снабжены накидными кольцами с отверстиями для болтов. Эти накидные кольца очень удобны при монтаже клапанов и других элементов, поскольку могут быть развернуты в нужное положение.
 
Смотровое окно.
 
Неотъемлемой частью многих систем высокого и сверхвысокого вакуума являются смотровые окна. Смотровые окна выполнены из боросиликатного стекла и нержавеющей стали и предназначены для давления до 1х10-11 мм рт. ст. Переходным материалом является ковар (магнитный). Смотровые окна выдерживают циклический нагрев до 350 °С с градиентом температур до 3 °С/мин., обеспечивают широкий угол обзора без искажений, минимально подвержены нагрузкам в результате неравномерной затяжки болтов фланцев и влиянию конструкции крепления стекла при прогреве. 
Площадь коваровой поверхности, составляющей сверхвысоковакуумную оболочку, уменьшена в 1,5 – 3 раза по сравнению с существующими в мире аналогами смотровых окон «нулевого типа», что обеспечивает меньшее натекание газа (водорода) в СВВ камеру. Светопередача стекла составляет не менее 80 % при длине волны от 0,32 до 2,7 мк и 90 % при длине волны от 0,35 до 2,6 мк. 
Для защиты от случайных механических разрушений и воздействия воздушных потоков на вакуумно-плотное стекло при прогреве предлагаются внешние стекла из боросиликатного стекла.
Для защиты от рентгеновского излучения могут быть установлены защитные стекла из свинцового стекла.
Защитные стекла крепятся во фланце смотрового окна пружинными кольцами и могут быть легко демонтированы.
В установках с интенсивным напылением могут быть установлены внутренние защитные стекла.
При необходимости вместо внутреннего защитного стекла может быть установлена металлическая сетка для защиты боросиликатного стекла и обслуживающего персонала от СВЧ излучения.
Смотровые окна могут быть оборудованы одновременно наружными и внутренними защитными устройствами.
В смотровом окне стекло закреплено во фланце ConFlat, в котором выполнены все присоединительные размеры для крепления наружных и внутренних защитных устройств, что позволяет, по мере необходимости, оснащать смотровое окно защитными устройствами в любой комбинации.
 
Быстроразъемные соединения. 

Наиболее простыми в эксплуатации являются быстроразъемные фланцевые соединения с накидными хомутами и резиновым уплотнением, работающие в диапазоне давлений 1 х 105-1,3 х 10-5 Па при температуре окружающей среды +8…+70 °С. Соединения могут быть выполнены четырех типоразмеров: KF10, KF16, KF25, KF40.